菲希爾X射線測厚儀FISCHERSCOPE X-RAY XULM240核心技術與工作原理

測量原理：X 射線熒光法 (XRF)，通過 X 射線激發(fā)樣品表面鍍層，分析熒光信號強度反推鍍層厚度與元素成分，實現非破壞性檢測

關鍵組件：

可選：帶玻璃窗口或鈹窗口的鎢靶微聚焦 X 射線管（ 50kV/50W）

比例計數器探測器（高計數率，提升測量速度與精度）

4 個自動切換準直器（0.05×0.05mm 至 ?0.3mm）+ 3 個自動切換基本濾片

內置 500 萬像素彩色視頻顯微鏡（38x-184x 變焦），定位精度達微米級

菲希爾X射線測厚儀關鍵技術參數

參數類別規(guī)格詳情

測量范圍鍍層厚度：0.005-50μm（納米級精度）

測量精度Au>0.1μm 時：標準片校準 <±5%，無標樣 <±10%；80nm 金鍍層重復精度達 2.5nm

測量點尺寸最小 0.05×0.05mm（微聚焦管），適配微小零件與精細結構

樣品高度17cm，測量距離 0-27.5mm 可調

工作臺配置固定支撐臺 / 手動 XY 工作臺，可選電動 XY 自動定位

軟件系統(tǒng)WinFTM® 專業(yè)分析軟件，支持數據實時傳輸、報告生成與導出

設計標準符合 DIN ISO 3497 與 ASTM B 568 國際標準